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凈化設(shè)備

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廣西南暉制冷電氣有限公司
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熱銷產(chǎn)品
 
      伴隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、中國(guó)顯示器行業(yè)飛快地進(jìn)步,我們也正好是伴隨著這個(gè)行業(yè)在成長(zhǎng),因此通過對(duì)一些項(xiàng)目簡(jiǎn)單地介紹,讓這個(gè)技術(shù)性的發(fā)展,來對(duì)中國(guó)的潔凈室和半導(dǎo)體行業(yè)起到作用,因?yàn)楣ぷ鳝h(huán)境是相當(dāng)高的。

 從范圍來講,有寬通空調(diào)系統(tǒng)、潔凈裝修、環(huán)氧涂裝、自流平、PVC地板、駕空地板、大宗氣體系統(tǒng)、特殊氣體系統(tǒng)、化學(xué)品、純水,這個(gè)我們達(dá)到了18.2兆的水平,這是世界的水平。還有廢水和其他的一些。

  這個(gè)是我們國(guó)家條日電電子工程生產(chǎn)線。月投片是8000片,那么,這兩個(gè)工程是我們屬于現(xiàn)代電子工廠建設(shè)的前期。我們把它作為一個(gè)高科技的工廠的前期。

  從潔凈室來說,它是一個(gè)比較全面的,因?yàn)闀r(shí)間的關(guān)系,我們不能做全面的介紹,只能從空調(diào)方面來做介紹。它對(duì)于我們國(guó)家來說,也是革命性的環(huán)境的解決方案。

  這是我們典型的早期的方案,這一塊的半導(dǎo)體工廠的人員、車間都是在這個(gè)位置。那么,上下都是新風(fēng)機(jī),那么它的工作原理是在天花頂層有一個(gè)反復(fù)的高效作用器。這上面兩個(gè)是循環(huán)空調(diào)機(jī),也可以放在上面,也可以放在側(cè)面。通過新風(fēng)機(jī)組補(bǔ)充新風(fēng),通過循環(huán)風(fēng)機(jī)把潔凈室通過地面下來的回風(fēng),通過循環(huán)風(fēng)機(jī)對(duì)于冷量和濕度的調(diào)節(jié),然后送到靜壓箱進(jìn)行混合,然后通過頂部循環(huán)到車間里面去。

這樣,使我們整個(gè)的氣體,跟我們大型的空調(diào)不一樣。我們大型的空調(diào)可能只有幾個(gè)功能,這里是所有的空氣從頂層全部壓下來。這是我們步實(shí)現(xiàn)的現(xiàn)代潔凈室的原理,它達(dá)到了100級(jí)以上。

  100級(jí)是什么概念呢?舉個(gè)例子,今天大家在做的環(huán)境,是我們看到的非常干凈的環(huán)境,應(yīng)該是多少級(jí)呢?是200萬到300萬級(jí),就是每立方英尺大于5個(gè)顆粒,就是相當(dāng)于3.05平方米,這么大的體積里面所擁有的超過0.5以上的微米是多少。那么,我們今天這個(gè)環(huán)境,我估計(jì)在200萬到300G。那么,這樣的潔凈室,達(dá)到的是100微米,就是不能超過100微米,得小于100微米。

  我們的集成電路在封裝之前,它的導(dǎo)線我們國(guó)家保守地說是0.08微米,也有說是0.07微米。所以,三個(gè)電路產(chǎn)生出來的全部是這個(gè),所以環(huán)境對(duì)于成品是非常關(guān)鍵的。這是達(dá)到了100級(jí)的潔凈室。 <BR> 那么,到了90年代末期,比如說長(zhǎng)虹等等的廠家,我們弄了一個(gè)909工程開始上馬了。潔凈室的建筑面積達(dá)到了13千平方米,凈化面積是1G。那么剛才說的是100級(jí),那么現(xiàn)在說的是1級(jí)。剛才我講的0.5微米以上是100級(jí),那么這里要求的是更高,是0.12微米。所以潔凈室的技術(shù)進(jìn)一步提高了。

  通過干盤管進(jìn)行溫度的交換,在兩邊從這里往上走。走到我們上面的靜壓箱,然后通過另外一個(gè)全新的設(shè)備,就是FFU,這是什么意思呢?就是高效空氣過濾單元,通過它往下走。新風(fēng)空調(diào)機(jī)在這里,我們要往上送,它從創(chuàng)新的角度核心上來說,就是用了FFU這個(gè)東西。

  它從工作原理上,解決了我們前面一個(gè)原理。前面一個(gè)過程是什么呢?雖然是完全從頂上壓下來,我們空氣潔凈決定空氣的氣流組成形式。就是從理論上,要嚴(yán)格地每一個(gè)空氣都垂直下來,全部地壓下來。這樣的話,我們的空氣會(huì)相當(dāng)?shù)馗蓛簟5,事?shí)上做起來會(huì)非常困難。

      困難作哪里?我們可以看到,它是通過外部的風(fēng)機(jī)把它送上去,送進(jìn)去以后在這里往下壓。那么,這必然存在著一個(gè)阻力不平衡的問題,那么阻力大的地方風(fēng)速就大,阻力小的地方風(fēng)速就小,就不能嚴(yán)格地保證這個(gè)風(fēng)體的垂直性。

  我們這里把整個(gè)的屋面,保證垂直的情況下,這樣才能做到1級(jí)。1級(jí)是什么概念?就是1平方米只能是1微米,但是做可不能這樣,因?yàn)槟憧紤]不能按照60分考,你按照60分考,你就可能是58分。所以,你要按照70分、80分去考,所以1微米等于是沒有做。

  到了這個(gè)級(jí)別我們的凈化是跟FFU的物質(zhì)密度有關(guān)系,那么物質(zhì)密度越大,氣流就越多,但是帶來的問題是對(duì)于整個(gè)空氣循環(huán)的量非常大。那么,我們這邊通道的要求就要很寬敞,那么空氣的量越大,對(duì)于空氣處理的量就越大。我們空氣每發(fā)生一次循環(huán),就有一個(gè)溫升,溫度就要提高,所以冷卻。所以,它處理的量就大了,那么這邊的阻力就加大了。

所以剛才前面這種方式,帶來的一個(gè)問題就是,所有的空氣全部要從這里翻過去。那么,整個(gè)把這里布滿了,溫度還處理不過來。

  這個(gè)是上海廣電的潔凈室,他的面積達(dá)到了5萬平米。那么,它帶來的問題,就是說這里有一個(gè)叫做RHU來解決問題。這個(gè)區(qū)域是我們車間,所以我們的潔凈室的造價(jià)是非常昂貴的,這么大的房子里面真正用于生產(chǎn)的只有這么小的地方,上面的是級(jí)別高的地方有風(fēng)機(jī),級(jí)別低的地方也有風(fēng)機(jī)。

  下面的室外送風(fēng)機(jī)凈化了室內(nèi)的空氣,凈化排氣排出了室內(nèi)的空氣。通過RHU這個(gè)設(shè)備,把新風(fēng)送上去。這個(gè)設(shè)備既對(duì)室內(nèi)溫度進(jìn)行了控制,又增加了送風(fēng)的動(dòng)力,減少了剛才談的所帶來的一個(gè)阻力比例,把這個(gè)空氣循環(huán)的速度加快了,速度見效了。也就是說,RHU選用的,使得照明系統(tǒng)降低了。

  這是剛完成的一個(gè)項(xiàng)目,它的潔凈區(qū)面積達(dá)到了12000平方米。我們平?吹降臐崈羰业拿娣e是很小的,有幾百平米就是好的。那么,這個(gè)方式跟剛才那個(gè)方式幾乎是一樣的,但是作為一個(gè)小小的區(qū)別,就是RHU的設(shè)備,不是座落在一個(gè)角落上,它是在整個(gè)的下加層都可以。那么,這是房間設(shè)置中的車間。對(duì)于車間的生產(chǎn)設(shè)備的限制變小了,下面的RHU的布置率可以不斷地增加。所以,空氣的溫度和濕度的處理,就得到了一個(gè)提升。這就使得空氣回來在這里處理,然后處理完了再回到潔凈室。

  它解決了我們工廠經(jīng)常發(fā)生的技術(shù)升級(jí)的問題,因?yàn)榧夹g(shù)升級(jí)帶來了設(shè)備的調(diào)整。設(shè)備的熱量和濕度的數(shù)不是一個(gè)穩(wěn)定的,隨著它的變化可以通過RHU分解增加來解決。所以,這使一個(gè)工廠變得非常靈活可用。我們知道,潔凈廠房的成本非常高,所以這樣可以擴(kuò)大利用率!‖F(xiàn)在的潔凈室的建設(shè)越來越大,這是一個(gè)四川的顯示器公司的潔凈室的建設(shè),他們目前是中國(guó)的潔凈室,面積達(dá)到了2萬米。這個(gè)方式還是用了RHU的方式,他們對(duì)于潔凈室的要求很高,他們的空氣處理量相對(duì)比較少,他們也是有了FFU,就是單密度空氣,通過FFU處理完,送到潔凈室,潔凈室再通過地板回到下加層,是這么一個(gè)循環(huán)過程。如果級(jí)別提高的話,那么這個(gè)可以更成熟。

  針對(duì)目前我們比較流行的節(jié)能減排的提倡,我們也做了一個(gè)潔凈室的經(jīng)驗(yàn)值比較。這個(gè)是我們國(guó)內(nèi)早的潔凈室,它們的能耗,隨著庫存率的提高,這個(gè)是以平米的消耗能源的噸位數(shù)為基礎(chǔ)。當(dāng)我們目前采用了FFU的方式之后,我們可以看到基本上一半的潔凈室達(dá)到了50%。

  現(xiàn)在我們國(guó)家的潔凈室的一期的投入增大,大家后期的維護(hù)成本降低了。


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