聚鑫偉業(yè) 北京聯(lián)系人:康霞 R14 CF4 CAS號 75-73-0 物理性質(zhì): 分子式 CF4 分子量 88.01 相對密度(水=1) 1.61(-130℃) 熔點(diǎn)℃ -183.6 沸點(diǎn)℃ -128.0 蒸氣壓 (kPa)(-150.7℃) 13.33 臨界溫度℃ -45.5 臨界壓力(MPa) 3.74 溶解性 不溶于水 質(zhì)量指標(biāo): 四氟甲烷 質(zhì) 量 指 標(biāo) 指 標(biāo) 名 稱 指 標(biāo) 含量,%(v/v) ≥ 99.995 99.99 99.90 氮?dú)猓?(v/v) ≤ 0.002 0.004 0.035 氧氣,%(v/v) ≤ 0.001 0.002 0.035 一氧化碳,%(v/v) ≤ 0.001 0.001 0.002 二氧化碳,%(v/v) ≤ 0.001 0.002 0.008 水份,(mg/g) ≤ 2.0 3.0 5.0 酸度,(mg/g) ≤ 0.1 0.1 0.1 總雜質(zhì)含量(ppmv) ≤ 50 100 1000 用 途 用于微電子工業(yè)的等離子蝕刻劑,電子清洗,冶金,低溫制冷劑,合成橡膠。 包裝: 鋼瓶(14Mpa)(DOT-3AA GB-5099) 閥門(CGA-580/590,QF-2) 32KG/48.8L 30KG/43.3L 205KG/4L 儲運(yùn): 危險(xiǎn)性類別 第2.2類不燃?xì)怏w,儲存
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