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廣東廣州氣體檢漏流量計(jì)

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HFS5001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門(mén)為各類小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來(lái)制作,適用于各類清潔、干燥氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測(cè)量不同范圍的流量,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號(hào)輸出,通過(guò)通訊接口可實(shí)現(xiàn)對(duì)傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。

 

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量
  • 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳感器的高精度計(jì)量
  • 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
  • 貼壁式安裝,無(wú)直管段要求,易于安裝與使用
  • 輸出方式靈活,既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I2C),也可通過(guò)模擬接口輸出線性的模擬電壓
  • 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
  • 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
  • 低功耗、低壓損
  • 響應(yīng)速度快

機(jī)械尺寸:

 

技術(shù)參數(shù):

HFS5001

量程范圍

0~20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制    sccm
量程比 >100:1  
精度 ±(1.5±0.2FS) %
重復(fù)性 ±0.75 %
零點(diǎn)輸出飄逸 ±30 mV
輸出飄逸 0.16 %/oc
響應(yīng)時(shí)間 100(默認(rèn),50,100,200,500,100設(shè)置) ms
工作電源 8~18Vdc,50mA  
輸出方式 RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc  
流量壓損 900 Pa
流量壓力 0.8 MPa
工作溫度 -5~+45 oC
存儲(chǔ)溫度 -20~+55 oC
工作濕度 <95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露)  
機(jī)械接口 M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭(配轉(zhuǎn)接模塊)  
校準(zhǔn)方式 空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa  
重量 17.5 g

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