凈化工程是指在一定空間范圍內,將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學科。凈化工程所特別設計的房間,不論外在空氣條件如何變化,室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。
凈化工程主要分為兩類
亂流式 (Turbulent Flow)
空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA) 進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板亂流式回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點:構造簡單、系統建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級!
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。
層流式(Laminar)
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重!
優(yōu)點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定!
缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充!
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵?煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
優(yōu)點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
潔凈度等級參照表 | |||||||
空氣潔凈度等級 |
大于或等于表中粒徑的濃度限值(pc/m3) | ||||||
ISO標準 |
中國標準 |
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1um |
5um |
1級 |
|
10 |
2 |
|
|
|
|
2級 |
(一級) |
10 |
24 |
10 |
4 |
|
|
3級 |
(五級) |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
4級 |
(十級) |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|
5級 |
(百級) |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
6級 |
(千級) |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
7級 |
(萬級) |
|
|
|
352000 |
83200 |
2930 |
8級 |
(十萬級) |
|
|
|
3520000 |
832000 |
29300 |
9級 |
(三十萬級) |
|
|
|
35200000 |
8320000 |
293000 |
{{item.AppContent}}